經濟部標準檢驗局今天(21日)指出，為協助產業升級，將持續開發先進校正量測技術應用，例如台灣半導體跨入奈米製程，背後一大助力便是標準局開發的X光關鍵尺寸量測系統等，後續也將在埃米製程時代持續協助產業突破技術限制。標準局現正配合五大信賴產業政策發展相關量測技術，並已鎖定量子運算所需的量測技術標準蒐集相關資料，提前布局。

經濟部標準檢驗局局長陳怡鈴強調，度量衡標準對民眾來說就像空氣，平時沒有特別感受卻無所不在，而標準局負責建置、維運國家最高測量標準，從日常生活度量衡需求到產業發展所需的精準量測都是重點工作。

標準局舉例指出，台灣半導體過去在研發奈米製程時，就因傳統光學檢測解析不足，製程參數無法精準掌握，也無法辨別小尺寸的污染物，使得研發面臨「霧裡看花」的困境，標準局委託量測技術發展中心開發出X光關鍵尺寸量測系統、SUPERSIZER線上監測系統，前者協助產業掌握3D關鍵尺寸、形貌計量，可自動量測12吋晶圓；後者則可做線上粒子污染物量測，確保材料純度，提升製程良率，協助業者突破極限，跨入奈米製程。

標準局表示，隨著台灣先進製程從奈米進入更下世代的埃米製程，X光關鍵尺寸量測系統會持續扮演助攻角色，並依照其研發藍圖需求持續精進。

標準局指出，未來將配合政府五大信賴產業政策，開發產業發展所需的創新量測技術應用。量測技術發展中心透露，現已鎖定量子運算背後涉及的量測技術提前布局。量測技術發展中心執行長藍玉屏：『(原音)未來如果有一些屬於量子的量測儀具，包括感測器，這些會是我們現在會專注去了解，它的量測方式或者量得準的方式，是不是要有新的技術進來，這是我們目前正在努力、在看國際之間的發展方向。我們希望走到比較前面，當我們的產業要進入的時候會比較快。』

另外，標準局在風機葉片檢測上也開發出以聲音量測結合AI技術解決方案，不但達到風機免停機健檢，巡檢時間也從30分鐘縮減到5分鐘，大幅降低維運成本，目前已導入陸域風機巡檢，現正與離岸風電開發商接洽導入。(編輯：宋皖媛)