傳中國開始生產國產DUV曝光機　擬今年交付中芯、華虹等大廠

 《路透社》援引消息人士透露，中國一家神秘國企已開始量產自主研發的DUV曝光機，首批設備預計今年交付中芯國際(SMIC)、華虹半導體(Hua Hong Semiconductor)及長鑫存儲(CXMT)等主要晶片製造商。儘管消息人士坦言，國產DUV曝光機整體性能與全球龍頭荷蘭ASML相比仍有不小差距，不過這項先進晶片製造關鍵設備的突破，仍凸顯北京致力推動半導體自主化再向前邁進一大步。

長期以來，半導體晶片製造重要關鍵設備DUV曝光機的市場幾乎由ASML主導。科技媒體《The Information》本週一率先披露，中國一家獲政府支持、位於上海的企業已開始製造DUV曝光機，今年預計生產約5台，2027年可望提高至約20台。

神秘上海國企愛晟納推動DUV製造

路透社則進一步取得消息，首度揭露該公司就是上海愛晟納。知情人士表示，這家中國國有企業上海愛晟納電子科技集團(Shanghai Aishengna Electronic Technology Group)外界鮮少聽聞，其整合了中國多家頂尖晶片製造曝光設備新創公司的技術團隊，負責推動DUV曝光機的生產。

消息人士指出，愛晟納目前生產的DUV設備仍處於驗證階段，無論在精度、可靠性及量產能力，與市場主力的荷商ASML同級產品都有一段差距。然而，一旦完成測試並正式投入商業運作，未來若西方國家持續緊縮半導體設備出口或維修限制，中國晶圓代工廠將可擁有本土替代方案，降低對國外供應鏈依賴。

根據《The Information》引述兩名知情人士報導，這批中國製DUV曝光機預計將於今年交付給中國主要晶片製造商，包括中芯國際(SMIC)、華虹半導體(Hua Hong Semiconductor)以及記憶體製造商長鑫存儲(CXMT)。

與ASML產品仍有差距 

值得注意的是，這家愛晟納公司相當神秘，企業登記資料顯示，上海愛晟納成立於2023年8月，註冊資本70億元人民幣(約新台幣290億元)，股東包括上海電氣控股集團及上海國際信託旗下子公司，均為國有背景。

不但公司相當低調，甚至沒有官方網站，也未公開介紹業務內容，但知情人士透露，愛晟納已整合中國光刻設備新創宇量昇(Yuliangsheng)及上海微電子裝備(SMEE)部分技術團隊。其中，宇量昇去年已開始測試DUV曝光機的原型機，也是華為支持的半導體設備公司新凱來(SiCarrier)的關係企業；SMEE則被視為中國發展曝光設備的重要核心廠商。企業資料也顯示，與宇量昇登記地址相同，皆位於上海。

目前全球DUV曝光機市場長期由ASML主導。中國因美國出口管制，無法取得ASML最先進的極紫外光(EUV)曝光機；荷蘭政府近年也進一步限制部分高階DUV設備出口，使中國積極推動國產替代。

能量產與能穩定供應高階設備是兩回事

市場雖對此次消息有所反應，ASML股價甚至一度重挫8%，但分析師普遍認為，短期內並不會改變ASML獲利前景。

摩根大通(JP Morgan Chase)分析師28日發布報告指出：「能夠製造少量DUV設備，與能夠穩定供應高產能量產設備是兩回事。真正關鍵在於良率、套準精度(Overlay)、產能(Throughput)，以及設備在數千片晶圓連續生產過程中的可靠性。」