日本半導體材料二氯矽烷 中國宣布實施臨時反傾銷
中國商務部今天(7日)發布對原產於日本的進口二氯矽烷(DCS)反傾銷調查初裁公告,決定實施臨時反傾銷措施。二氯矽烷是製作半導體的相關材料。
日本首相高市早苗去年11月的「台灣有事」說引發中日關係變化。中國先是宣布全面禁止包括稀土在內的所有軍民兩用物項出口至日本,又於今年1月表示應中國國內產業申請,對原產於日本的進口二氯矽烷(DCS,中國稱「二氯二氫硅」)發起反傾銷調查。
根據中國商務部的公告內容,二氯矽烷主要用於晶片製造過程中的薄膜沉積(如外延膜、碳化矽膜、氮化矽膜、氧化矽膜和多晶矽膜等),用於生產邏輯晶片、存儲晶片、類比晶片和其他類晶片,也可用於合成矽前驅物(中國稱「矽基系列前驅體」)和聚矽氮烷...
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